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Feinmess 三轴精密定位平台

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产品名称: Feinmess 三轴精密定位平台
产品型号: MP 84-...-LM
产品厂商: 上海微敏自控技术有限公司北京办事处
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简单介绍
Feinmess 三轴精密定位平台MP 84-...-LM

Feinmess 三轴精密定位平台

的详细介绍
产品详细说明

Feinmess 三轴精密定位平台

技术参数
MP84-25-LM50-LM100-LM
行程[mm]2550100
精度[µm]333
重现性[µm]<0,3<0,3<0,3
直线度/平面度(全行程) 
[µm]
0,512
最大速度[mm/s]250250250
最大加速度[m/s2]>10>10>10
最大推力(HR4-motor)[N]151515
重量[kg]0,60,751,0

Piezo Linear Motor:HR4 静态推力5N

增量式直线光栅尺:分辨率5nm

Lift Limitation:2 fixed stops

三轴XYZ紧凑设计

可选真空无磁下应用的规格

Bearing: backlash-free preloaded cross roller bearings
Casing: warp-proof, anodized black aluminum alloy

原厂网站:www.feinmess.de



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