德国Feinmess压电陶瓷马达驱动单轴平台

PMT160-050-LM100-LM150-LM170-LM200-LM250-LM行程[mm]50100150170200250精度[um]1,522223重现性[um]0,30,30,30,30,30,3垂直度/平面度
每10mm
全行程 
 
[um]0,20,41111[um]0,511,5224最大速度[mm/s]250250250250250250最大加速度[m/s ²]222222允许负载Fx [N]
Fy [N]
Fz [N]30
100
20030
100
20030
100
20030
100
20030
100
20030
100
200重量[kg]3,64,14,75,05,16,4

技术规格：

德国JENA开放式光栅尺

光栅尺规格：LIE5 (LIE4)
光栅尺尺带：Doubleflex-measuring tape
光栅尺栅距：20um
光栅尺精度：<1um
热膨胀系数：ca. 10.5 x 10^-6 grd^-1
光栅尺信号：rectangular signal RS422
光栅尺分割：4倍频＋50分割
分　辨　率：0.1um

以色列NANOMOTION压电陶瓷马达

电机规格：HR-8

静态保持力：32N（无磁场、无加热）
位置　限位：2 fixed stops, 2 limit switches

Guideways: backlash-free preloaded precision cross roller guideways
Casing: warp-proof, anodized black aluminum alloy, bellow covering

原厂网站：www.feinmess.de