光栅尺

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光学尺原理的探讨

加入时间：2007/10/22 9:12:11

本文探讨了光学尺（光栅尺）Linear scaler（也称为线性编码器Linear encoder），目的为了了解光栅尺的原理及组装，将1μm分辨率的光栅尺组装在气浮XYZ平台上作为三次元测量。

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