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光栅尺
目录分类
光学尺原理的探讨
加入时间:
2007-10-22 9:12:11
本文探讨了光学尺(光栅尺)Linear scaler(也称为线性编码器Linear encoder),目的为了了解光栅尺的原理及组装,将1μm分辨率的光栅尺组装在气浮XYZ平台上作为三次元测量。
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